11 石墨氈與碳氈:高溫爐的“保溫外衣”
石墨氈(碳氈經(jīng)高溫石墨化而成)是以 PAN 基、瀝青基或粘膠基纖維為前驅(qū)體,經(jīng)針刺成網(wǎng)、碳化、石墨化制成的柔性保溫材料,多孔、質(zhì)輕、耐高溫、熱導(dǎo)率低,是單晶爐、多晶鑄錠爐、真空燒結(jié)爐等高溫裝備的核心隔熱層。碳氈耐溫約 1000–1800℃,石墨氈可達 2000℃ 以上且更潔凈。

核心規(guī)格:① 厚度與面密度;② 導(dǎo)熱系數(shù)(越低保溫越好);③ 灰分與純度(半導(dǎo)體級要求低);④ 是否含硬氈/軟氈復(fù)合結(jié)構(gòu)。
應(yīng)用場景:直拉單晶硅爐熱場保溫筒與頂/底保溫、光伏多晶鑄錠爐隔熱、真空熱處理爐、粉末冶金燒結(jié)爐、半導(dǎo)體外延爐。多層碳氈組合可顯著降低熱場能耗、提升溫度均勻性。
選型要點:① 半導(dǎo)體/光伏高純場景選低灰石墨氈;② 大尺寸熱場用多層復(fù)合結(jié)構(gòu);③ 關(guān)注氈與石墨硬氈的匹配;④ 安裝避免纖維脫落污染熱場。

維護提示:定期清理表面沉積、防止機械勾絲;受潮后需烘干再裝爐。
軟氈 vs 硬氈:軟氈(碳纖維氈)柔性好、易裁剪貼合;硬氈(石墨硬氈)定型好、強度高、可承托。實際多用”硬氈做結(jié)構(gòu)+軟氈做填充”的復(fù)合保溫,兼顧保溫率與裝配精度,也是降本常用組合。
行業(yè)趨勢:光伏、半導(dǎo)體產(chǎn)能擴張帶動碳/石墨氈需求高增,國產(chǎn)硬氈替代加速。六工石墨可提供保溫氈配套與熱場整體方案。
客戶常見誤區(qū):為省錢減保溫層厚度,熱場能耗飆升、溫度均勻性變差;或混用硬/軟氈不匹配。
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六工石墨建議:① 半導(dǎo)體/光伏高純場景選低灰石墨氈;② 大尺寸熱場用多層復(fù)合結(jié)構(gòu);③ 安裝避免纖維脫落污染;④ 定期清理表面沉積、受潮后烘干再裝爐。
