搞高溫爐的老師傅都清楚,加熱元件這東西選不對(duì)就是給自己挖坑。傳統(tǒng)的擠壓成型或模壓成型石墨加熱棒,用過(guò)的都知道有幾個(gè)繞不開(kāi)的毛病。首先形狀單一,擠出來(lái)基本就是棒狀片狀,想做螺旋通道蜂窩結(jié)構(gòu)根本不可能,形狀一單一爐內(nèi)溫差就大,動(dòng)輒25到30攝氏度,產(chǎn)品一致性根本保不住。其次熱效率上不去,傳統(tǒng)元件熱傳導(dǎo)路徑長(zhǎng),加熱效率也就65%到70%,電能浪費(fèi)不少。還有個(gè)更要命的是抗熱震性差,冷熱循環(huán)300次左右就開(kāi)裂,換元件頻率高停機(jī)維護(hù)成本蹭蹭漲。所以現(xiàn)在越來(lái)越多的廠(chǎng)開(kāi)始轉(zhuǎn)向等靜壓石墨加熱元件,確實(shí)解決了不少老問(wèn)題。

等靜壓石墨跟普通石墨的核心區(qū)別就四個(gè)字:各向同性。意思是不管從哪個(gè)方向測(cè),強(qiáng)度、導(dǎo)熱、導(dǎo)電性能都一樣,不會(huì)出現(xiàn)橫著強(qiáng)豎著弱的情況。這是因?yàn)榈褥o壓成型時(shí)用液體或氣體從四面八方均勻施壓,粉料各個(gè)方向受力一致,出來(lái)的坯料密度均勻結(jié)構(gòu)致密。具體到加熱元件上,等靜壓石墨有幾個(gè)硬指標(biāo)。耐熱性方面,在惰性氣氛下溫度越高機(jī)械強(qiáng)度反而越高,2500℃左右才到峰值,普通石墨根本比不了。熱膨脹系數(shù)低,急冷急熱不容易裂,抗熱震性能突出。耐腐蝕性也強(qiáng),熔融金屬玻璃液都侵蝕不動(dòng)它。純度可以做到二次提純0.5ppm以?xún)?nèi),灰分極低,高溫下不會(huì)釋放雜質(zhì)污染工件。這些特性加在一起,等靜壓石墨做加熱元件天然就比傳統(tǒng)材料合適。

模壓成型和擠壓成型說(shuō)白了都是單向施壓,粉料跟鋼模之間有摩擦,密度分布不均勻,壓制復(fù)雜形狀時(shí)密度差能到10%以上,做出來(lái)內(nèi)疏外密,嚴(yán)重的還有同心殼層現(xiàn)象,焙燒時(shí)特別容易裂。等靜壓成型就不一樣,流體介質(zhì)傳遞壓力各個(gè)方向相等,粉料和包套之間基本沒(méi)有相對(duì)運(yùn)動(dòng),摩擦阻力很小,密度下降梯度只有1%以下,坯體密度可以認(rèn)為是均勻的。而且等靜壓成型制品密度比模壓高5%到15%,熱等靜壓相對(duì)密度能到99.8%甚至99.99%。還有一點(diǎn),等靜壓成型一般不需要加潤(rùn)滑劑,減少了污染工序也簡(jiǎn)化了。河南六工石墨有限公司也布局了此類(lèi)石墨相關(guān)制品。正因?yàn)槊芏染鶆蚪Y(jié)構(gòu)致密,等靜壓石墨制品長(zhǎng)徑比不受限制,棒狀管狀細(xì)而長(zhǎng)的產(chǎn)品都能做,這是模壓和擠壓很難實(shí)現(xiàn)的。

有個(gè)做1600℃高溫?zé)Y(jié)爐的案例,原來(lái)用氧化鋁棒狀加熱元件,爐內(nèi)溫差28℃,熱效率68%,冷熱循環(huán)300次就開(kāi)裂。換成等靜壓石墨加熱元件后,采用螺旋加熱通道加蜂窩基體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),爐內(nèi)溫差直接降到8℃,熱效率提到85%,冷熱循環(huán)次數(shù)從300次提升到550次,元件壽命延長(zhǎng)了83%。在半導(dǎo)體晶圓熱處理中,高溫爐加熱元件的尺寸精度要求極高,偏差超過(guò)0.1毫米就可能導(dǎo)致?tīng)t內(nèi)溫度分布不均。等靜壓石墨加熱元件用高精度數(shù)控加工,尺寸公差能控制在0.05毫米以?xún)?nèi),表面經(jīng)過(guò)打磨拋光處理,熱阻更低雜質(zhì)吸附也少。在光伏產(chǎn)業(yè)單晶硅拉制中,石墨加熱器要在1600℃以上長(zhǎng)期工作,等靜壓石墨的耐高溫特性和各向同性結(jié)構(gòu)保證了溫度場(chǎng)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,這對(duì)單晶硅棒品質(zhì)至關(guān)重要。

做工業(yè)加熱這行,拼的不是誰(shuí)參數(shù)好看,而是誰(shuí)能長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行不出問(wèn)題。等靜壓石墨加熱元件在耐高溫、溫度均勻性、使用壽命這幾個(gè)核心維度上,確實(shí)比傳統(tǒng)材料有明顯優(yōu)勢(shì)。當(dāng)然它也不是沒(méi)缺點(diǎn),工藝效率相對(duì)低一些,設(shè)備投入也高,但對(duì)于溫度控制要求嚴(yán)格的場(chǎng)景,這筆賬算下來(lái)是劃算的。選對(duì)材料少走彎路,這就是實(shí)打?qū)嵉慕?jīng)驗(yàn)。
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